變壓(ya)吸(xi)附(fu)VPSA制(zhi)氧(yang)系統來自空氣(qi)(qi)壓(ya)縮(suo)機的(de)(de)壓(ya)縮(suo)空氣(qi)(qi)，首先進入(ru)冷干機脫除(chu)水分，然(ran)后(hou)進入(ru)由兩臺吸(xi)附(fu)塔(ta)組成的(de)(de)PSA制(zhi)氧(yang)裝(zhuang)置，利用(yong)塔(ta)中裝(zhuang)填的(de)(de)專用(yong)分子篩吸(xi)附(fu)劑選擇性地吸(xi)附(fu)掉N2、CO2等雜(za)質氣(qi)(qi)體組分，而作(zuo)為(wei)產品氣(qi)(qi)O2將以25%-95%的(de)(de)純(chun)度由塔(ta)頂排出。

在降壓(ya)時，吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)劑(ji)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)的(de)(de)(de)氮氣解吸(xi)(xi)(xi)出(chu)來，通過塔底逆放排出(chu)，經吹洗后(hou)(hou)，吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)劑(ji)得以再生。完成(cheng)再生后(hou)(hou)的(de)(de)(de)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)劑(ji)經均壓(ya)升壓(ya)和(he)產品升壓(ya)后(hou)(hou)又可(ke)轉(zhuan)入吸(xi)(xi)(xi)附(fu)(fu)。兩(liang)塔交替使用，達(da)到連(lian)續分離空(kong)氣制(zhi)氧的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)。

沸石分(fen)子篩(shai)最(zui)初在工業上主要用于(yu)空氣干燥和(he)氫氣純化。后(hou)才開(kai)發用于(yu)空氣制(zhi)氧(yang)或(huo)制(zhi)氮(dan)，后(hou)逐漸(jian)開(kai)發成功用碳分(fen)子篩(shai)，或(huo)用沸石分(fen)子篩(shai)的(de)真空變壓吸附(fu)法(fa)，從(cong)空氣中制(zhi)氧(yang)或(huo)氮(dan)，實現了用單床PSA法(fa)吸附(fu)制(zhi)取(qu)醫(yi)用氧(yang)。

吸(xi)附(fu)(fu)分(fen)(fen)離(li)(li)是利用(yong)吸(xi)附(fu)(fu)劑只對特(te)定(ding)氣(qi)體(ti)吸(xi)附(fu)(fu)和(he)解(jie)析(xi)能(neng)力上的(de)差異進行分(fen)(fen)離(li)(li)的(de)。為了促(cu)進這個過程的(de)進行，常(chang)用(yong)的(de)有加壓(ya)法(fa)和(he)真空法(fa)等(deng)。分(fen)(fen)子(zi)篩(shai)變壓(ya)吸(xi)附(fu)(fu)分(fen)(fen)離(li)(li)空氣(qi)制(zhi)取氧(yang)的(de)機理，一(yi)是利用(yong)分(fen)(fen)子(zi)篩(shai)對氮(dan)的(de)吸(xi)附(fu)(fu)親和(he)能(neng)力大于(yu)對氧(yang)的(de)吸(xi)附(fu)(fu)親和(he)能(neng)力以分(fen)(fen)離(li)(li)氧(yang)，氮(dan)；二是利用(yong)氧(yang)在碳(tan)分(fen)(fen)子(zi)篩(shai)微孔系統狹窄空隙中(zhong)的(de)擴散(san)速(su)度(du)大于(yu)氮(dan)的(de)擴散(san)速(su)度(du)，使在遠離(li)(li)平衡的(de)條件下可分(fen)(fen)離(li)(li)氧(yang)氮(dan)。

變(bian)壓(ya)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)法制氧(yang)(yang)(yang)(yang)，氮在常(chang)溫下進行，其(qi)工(gong)藝有加(jia)壓(ya)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)/常(chang)壓(ya)解析或(huo)常(chang)壓(ya)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)/真空解析兩種，通常(chang)選用沸石(shi)分子(zi)篩制氧(yang)(yang)(yang)(yang)，碳分子(zi)篩制氮。其(qi)氧(yang)(yang)(yang)(yang)產(chan)量(liang)可達8000m3/h。我國的PSA/VPSA制氧(yang)(yang)(yang)(yang)設備(bei)技術(shu)逐漸成(cheng)熟，鋰基分子(zi)篩因其(qi)性(xing)能更為(wei)穩(wen)定、高(gao)效，被越來越多的大規模應用，實現裝置(zhi)大型化生產(chan)，單套變(bian)壓(ya)吸(xi)(xi)附(fu)(fu)(fu)裝置(zhi)產(chan)量(liang)最(zui)高(gao)可達50000m3/h，氧(yang)(yang)(yang)(yang)純度≥90％，產(chan)品(pin)氧(yang)(yang)(yang)(yang)能耗可達0.32~0.37kw.h/m3