時下制氧機系統可分為PSA變壓吸附制氧，帶壓吸附，常壓解析再生。VPAS變壓吸附微正壓吸附，真空解析再生兩種，PSA制氧系統能耗較高，制氧純度一般在90%±3左右，工藝簡單，設備投資較少，適合小型用氧，高原供氧，鍋爐增氧，醫用呼吸用氧等，VPSA變壓吸附制氧系統，設備占地面積較大，投資大，制氧純度高，適合大型用氧場合，污水處理，養殖增氧等等，其基本工作原理是由壓縮空氣作為原料，壓縮空氣除油除水除塵后進入吸附塔，利用對不同組分的吸附能力不同，二是吸附質在吸附劑上的吸附容量隨吸附質的分壓上升而增加。利用吸附劑的一個性質，可實現對混合氣體中某些組分的優先吸附而使其它組分得以提純；利用吸附劑的第二個性質，可實現吸附劑在高壓下吸附而在低壓下解吸再生，從而構成吸附劑的吸附與再生循環，達到連續分離氣體的目的。